应用于PH、MET等区域工艺机台设备

工艺机台设备本身对振动和刚性需求较高，采用高刚性RC结构达到最佳隔振效果，RC基座表面使用洁净室许可的环氧树脂进行处理，光洁度满足洁净室标准，硬度达到700kg/cm² 或以上。