应用于ASML、NIKON、CANON、SMEE等光刻机台

光刻机对基座有严苛的微振及刚性需求，高精准度的安装固定要求。采用高刚性RC结构达到最佳隔振效果，精密加工的特殊结构定位固定件，RC基座表面使用洁净室许可的环氧树脂进行处理，光洁度满足洁净室标准，钢度满足光刻机的要求。