应用于TF、EH等区域工艺机台设备

工艺机台设备本身对振动和刚性无特殊需求，设备载荷300～700 kg/m²，设备脚位承重小于700kg/in²，需要采用钢板分散机台的集中载荷，钢板形状按照机台的需求进行任意形状的制作。