应用于CMP、WET、DF、Track等区域工艺机台设备

工艺机台设备本身对振动和刚性无特殊需求，设备载荷700～1500 kg/m²，或设备脚位承重高于700kg/in²，高架地板无法承载重量，需要使用工字钢或H型钢做成钢构，上面铺设钢板来进行承重。